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Programa

CURSO		:	TECNOLOGIA DE LOS DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES 
TRADUCCION	:	SEMICONDUCTOR DEVICE TECHNOLOGY 
SIGLA		:	FIM4017
CRÉDITOS 	:	15 UC		 
MODULOS		:	2 MODULOS
REQUISITOS	:	FIS1533 o FIZ0311 o MAT1532
CONECTOR	:	O
RESTRICCIONES	.	ALUMNOS DE POSTGRADO	
CARACTER	:	OPTATIVO
TIPO		:	CATEDRA	
CALIFICACION	:	ESTANDAR
DISCIPLINA	:	FISICA, INGENIERIA
PALABRAS CLAVE	:	DISPOSITIVOS, SEMICONDUCTORES, MICRO/NANO-TECNOLOGIAS


I. DESCRIPCIÓN 

Este curso tiene como proposito introducir los conceptos fisicos importantes de los dispositivos semiconductores y circuitos integrados, con enfasis en las tecnologias de micro y nanofabricacion. El curso empieza abordando las bases de los semiconductores: el crecimiento de semiconductores, su purificacion, dopaje, sus propiedades fisicas, entre otros. Luego se introducen los fundamentos basicos de los dispositivos electronicos mas comunes: transistor bipolar, transistor de efecto campo (FET) y de union (JFET). Finalmente, el curso aborda en profundidad las tecnologias y herramientas de fabricacion (Sala Limpia, difusion, implantacion ionica, metalizacion, litografia y grabado) de micro y nano-dispositivos comunes encontrados en las aplicaciones electronicas modernas asi como los desafios tecnologicos de la industria microelectronica. Tambien se introducen avances recientes en la investigacion de nanoestructuras de semiconductores para dispositivos avanzados.


II. OBJETIVOS 

1.	Conocer y comprender los dispositivos semiconductores, tanto desde el punto de vista de la fisica de los materiales semiconductores (diferencias entre metales, aislantes y semiconductores considerando factores como pureza y dopaje) como el mas tecnologico de la nano-fabricacion de circuitos integrados. 
2.	Identificar y describir el funcionamiento de un dispositivo semiconductor y de entender las etapas de la fabricacion de dispositivos encontrados en la literatura cientifica moderna.


III. CONTENIDOS

1. Introduccion a los Semiconductores
1.1. Materiales Semiconductores y su Fabricacion 
1.2. Propiedades Electronicas y Ecuaciones de Transporte

2. Dispositivos Semiconductores
2.1. Historia del Procesamiento de la informacion
2.2. Estructuras, Principios y Modelos 
2.3. Circuitos Integrados
3. Salas y Laboratorios Limpios
3.1. Filtracion de Aire
3.2. Sala limpia Principios y Funcionamiento
3.3. Ejemplos Industriales 


4. Procesos Tecnologicos de Fabricacion
4.1. Litografias: Micro-Nano
4.2. Tecnicas de Deposicion y Corrosion
4.3. Packaging
4.4. Downscaling: Moore y los nuevos paradigmas


IV. METODOLOGIA 

-	Catedra 
-	Informe realizados en parejas, acerca de un tema de investigacion actual (a definir al inicio del curso)
-	Presentaciones individual del analisis de una publicacion reciente


V. EVALUACION 

-	Pruebas			   	40%
-	Informe escrito 	  	30%
-	Presentacion individual		30%


VI. BIBLIOGRAFIA

Recursos web, con PDF de las presentaciones de catedra

Minima: 

C. Kittel, Introduccion to Solid State Physics, 7th or 8th edition, Wiley. ISBN 978-0-471-41526-8.

G.S. May and S.M. Sze, Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Wiley.  ISBN 0-471-23279-3.

J. H. Davies, The Physics of Low-dimensional Semiconductors: An Introduction, Cambridge University Press.  ISBN-13 9780521484916

Complementaria:

S.M. Sze, M.-K. Lee, Semiconductor Devices: Physics and Technology, Wiley. ISBN 978-0470537947.

S. Dimitrijev, Principles of Semiconductor Devices. ISBN: 9780195388039.